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脈沖偏壓電源
脈沖偏壓電源

偏压电源(Bias power supply )是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压。

作用

1)提高真空等離子體內帶電粒子的能量,轟擊清洗所鍍工件表面,使工件表面經受高能粒子撞擊後得到嶄新的表層,從而提高後續沈積膜層的結合力。

2)提高並控制真空等離子體內帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結合力。

3)靠不同的電壓輸出極性或方式改變沈積規則,調整膜層顔色。

4)克服偏壓電源工作于真空等離子體環境中,由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件。

偏压电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现,调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。

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